作者:王宪平,李圣怡 单位:中国仪器仪表学会 出版:《仪器仪表学报》2000年第03期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYQXB2000030040 DOC编号:DOCYQXB2000030049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文在研究精密和超精密加工技术的发展对直线度误差分离技术所提出的新要求的基础上 ,定量分析了传感器初始对准误差、忽略摆角误差和传感器漂移特性差异在时域和频域直线度误差分离方法中造成的误差 ,同时指出了频域方法中权系数对测量误差的放大作用。并讨论了一些消除误差的方法。最后由此得出两点法与三点法相结合的组合方法是最适用于超精密直线度测量的误差分离方法的结论

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