作者：周肇飞,李文杰,王世华,张涛 单位：中国科学院光电技术研究所;中国光学学会 出版：《光电工程》2000年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDGC2000050070 DOC编号：DOCGDGC2000050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器 ，即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器。它可同时测量 Ra=0 .0 0 2 5μm～ 5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌 ，以及 0～ 30 0μm的微小位移。测量精度与采用前述三种工作原理的单个传感器相近。

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