作者：刘丽娟 单位：辽宁师范大学 出版：《辽宁师范大学学报(自然科学版)》2000年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLNSZ2000030110 DOC编号：DOCLNSZ2000030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种采用变间距差动式电容结构设计的电容压力传感器 ，并详细讨论了弹性体厚度的理论计算和版图的设计 .此种传感器是用来测量近海海水深度和浪高 ，并由此得到潮汐的变化的 .这种差动式结构是利用压力作用在可动电极上 ，在微机械加工的过程中 ，采用某种连接 ，大大提高了传感器的灵敏度和测量精度 。

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