作者：牟有静 单位：辽宁大学 出版：《辽宁大学学报(自然科学版)》2000年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLNDZ2000020150 DOC编号：DOCLNDZ2000020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 电容式集成压力传感器因其特有的一系列优点而被广泛采用 ，但硅杯形状对传感器的灵敏度影响较大 ，本文提出一种新的硅杯形状 ，并通过分析计算 ，设计出了改进型的电容式集成压力传感器

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