作者：樊尚春,刘广玉 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2000年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2000020120 DOC编号：DOCIKJS2000020129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了一种热激励谐振式硅微结构压力传感器闭环系统。该谐振式硅微结构压力传感器以方形硅膜片作为一次敏感元件 ；硅梁作为二次敏感元件。在硅梁谐振子的中部设置一电阻 ，作为热激励单元 ；在梁的根部设置一压敏电阻 ，作为拾振单元。基于该谐振式硅微结构压力传感器敏感机理 ，分析了信号的相互转换 ，给出了传感器闭环系统实现的条件。

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