作者：刘晓为,王蔚,王喜莲,刘玉强,刘振茂 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2000年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2000030050 DOC编号：DOCCGQJ2000030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了计算机模拟技术在微传感器和微执行器设计中的应用 ，通过对多晶硅压力传感器和微泵膜片的计算机模拟分析 ，优化了器件的结构设计。研究工作表明计算机模拟是微传感器和微执行器设计的有效工具

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