作者：柴书常 单位：中国石油集团东方地球物理勘探有限公司 出版：《物探装备》2000年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWTZB2000010140 DOC编号：DOCWTZB2000010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用双SOI结构可以制成高性能的压力传感器。本文详细介绍了这种新型压力传感器的结构、特点和制作过程，并对其特性进行了讨论。

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