作者：许会,颜华,吴恩庚,王师 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2000年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2000020150 DOC编号：DOCYQXB2000020159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍三种可用于三维成像的电容传感器结构 ，利用三维有限元软件仿真分析不同结构传感器的灵敏场特性 ，最后给出三种结构传感器的成像结果及相应的空间图像误差

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