作者：乔文华,张纯棣,张治国 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2000年第08期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2000080040 DOC编号：DOCYBJS2000080049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《抗高过载微压传感器》PDF+DOC2001年第04期 尹颢,杨恒,王文襄,沈绍群,鲍敏杭 《悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究》PDF+DOC2017年第03期 苏莹,闫树斌,张志东,汤跃,王瑞兵,陈慧斌 《微压压力传感器的结构改进》PDF+DOC1995年第05期 鲍敏杭,沈绍群,陈宏,马青华 《提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)》PDF+DOC2002年第11期 郑丹,宋朝辉,张鲲 《基于SOI晶圆材料的硅微压传感器》PDF+DOC2012年第05期 李新,刘野,刘沁,孙承松 《梁-膜结构微压传感器研制》PDF+DOC2010年第02期 杨梅,于炜,张莹,史煜 《测量压电式微压传感器灵敏度的新方法》PDF+DOC2006年第02期 王丽坤,朱同淑,李书相,李光,张福学 《一种小量程应变式压力传感器结构设计》PDF+DOC2006年第02期 李俊国 《一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片》PDF+DOC2014年第08期 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊

    • 在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中 ，考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性 ，使得该工艺用于微压传感器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计 ，膜区厚度为 1 0 μm ，制造出的微压传感器灵敏度为 5 0mV/ 3kPa/ 1mA ，端点法非线性为 0 .5 %。

    📙 相关资料

    1. 《抗高过载微压传感器》PDF+DOC 在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ，会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象。提出了应力匀散结构和两层岛的限位结构 ，利用有限元分析和近似解析分析 ，设计了新的双岛 -梁 -膜结构 ，成功地研制出抗高过载微压传感器。量程为 0 .3kPa ，总精度为...
    2. 《悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究》PDF+DOC 针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题，提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理，然后对悬臂梁结构进行了建模仿真，同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数，最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台，对所加......
    3. 《微压压力传感器的结构改进》PDF+DOC 硅压力传感器具有小型和高灵敏度的优点。近年来小型高灵敏度的压力传感器的量程已低到1kPa。在这一发展过程中硅弹性体结构的改进起了很大的作用。本文介绍了作者首先提出的适用于微压压力传感器的梁膜（岛）结构以及以后几年来出现的相近的结构。用这些结构都已制成全程为1kPa的压力传感器。...
    4. 《提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究(一)》PDF+DOC 表面微机械微小量程压力传感器采用多晶硅薄膜等有内应力的敏感膜片时 ，应力往往会使膜片的力学灵敏度大大下降 ，无法满足微量程测量的要求。波纹膜片可以消除或减小应力来提高灵敏度 ，但是其波纹结构本身又会造成力学灵敏度下降 ，从而部分抵消了应力消除的效果。提出一种新型深盆腔膜片结构 ，在消除应力的同时实现......
    5. 《基于SOI晶圆材料的硅微压传感器》PDF+DOC 为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题，以SOI晶圆材料为基础，使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构，采用MEMS工艺完成传感器芯片制作，并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明，传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa，非线性小于0.1%FS，精度小于0.5%FS，器件具有较好的性能......
    6. 《梁-膜结构微压传感器研制》PDF+DOC 由四个弹性梁和一个刚性中心膜构成的梁-膜结构，具有平面应力集中效应，与一般的结构相比，这种膜片在受到微压时即产生较大的应力集中，使传感器在测量微压时有较高的灵敏度，它的特别的结构能解决一般结构膜片在很薄时由膜应力和弯曲应力产生的严重的非线性。介绍的这种双面腐蚀形成的梁-膜结构的硅压阻式微压传感器的设......
    7. 《测量压电式微压传感器灵敏度的新方法》PDF+DOC 研制了一套压电微压传感器的性能测量系统，它采用均匀声腔硅油介质中传播的声波作为压力源，标准传感器和被测传感器同时接收波动声压，比较两传感器的输出，测定被测传感器的灵敏度及频响。实验测试了3只压电式微压传感器，结果表明：传感器的灵敏度平均为3.0mV/Pa，工作频率为20~2 000Hz，灵敏度随频率......
    8. 《一种小量程应变式压力传感器结构设计》PDF+DOC 提出了一种新型的梁膜结构，其体积较小、应力集中效应明显，特别适合作小量程应变式压力传感器。通过有限元分析发现，当膜片厚度与梁厚度为某一比值时，膜片中心应力值最大，而位移量较小，即传感器灵敏度较大，而非线性较小。设计的传感器样品的灵敏度达0.5 mV/V，总精度优于0.1%F.S。...
    9. 《一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片》PDF+DOC 申请号：201310016272.6【公开号】CN103115720A【公开日】2013.05.22【分类号】G01L9/08(2006.01)I【申请日】2013.01.16【申请人】西安交通大学【发明人】赵玉龙；程荣俊【摘要】一种硅基单岛结构石英梁谐振式微压力传感器芯片，包括石英梁，石英梁通过低......
    10. 《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC 为满足高冲击时加速度测量的要求，研制了一种基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器。内部敏感元件采用对称的十字梁与平膜结合结构，可以有效地降低偏轴影响及横向灵敏度。使用ANSYS软件对芯片结构进行静态分析与模态分析，结果表明其在满量程情况下能安全工作。利用加速度冲击台进行测试，结果表明该加速度传感器......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。