作者：牛德芳,庞济,沈月婷,仲崇权,殷福亮 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2000年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2000120010 DOC编号：DOCYBJS2000120019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 文中介绍以Ｎ型单晶硅为基底，利用微机械加工研制而成的一种中央上举开放式差动电容压力传感器的结构及其设计。

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