《镱薄膜高压传感器的准静态压阻特性研究》PDF+DOC
作者:杜晓松,杨邦朝,伍隽,王卉
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2000年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2000090040
DOC编号:DOCYBJS2000090049
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采用真空蒸发技术在聚酰亚胺、云母、陶瓷等基板上制作了镱薄膜传感器 ,研究了该传感器在 70MPa~ 2GPa范围内准静态单轴压缩载荷下电阻—压力的变化关系。结果表明该传感器精度高、重复性好、工艺简单
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