《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC
作者:朱目成
单位:西南科技大学
出版:《西南科技大学学报》2000年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXNGX2000030010
DOC编号:DOCXNGX2000030019
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本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ,得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。
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