作者：朱玉江,刘振善,张光照 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2000年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2000060110 DOC编号：DOCCGQJ2000060119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 简要介绍了一种测量范围为－２０～２００Ｐａ，准确度为０．１％ＦＳ，工作温度为－５０～８５℃的音叉式石英晶体微差压传感器的设计和制作原理。和其它形式的微差压传感器比较，它具有灵敏度高，稳定性好，输出频率信号等特点，广泛用于差压、流量等参数测量。

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