《阵列式硅压阻压力传感器的研究》PDF+DOC
作者:王长虹,程颖,陶文中
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2000年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2000050050
DOC编号:DOCCGQJ2000050059
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介绍了一种阵列式硅压阻压力传感器 ,就其设计结构、生长工艺及实验结果进行了概要地阐述 ,其生长工艺将微机械加工工艺和半导体平面CMOS工艺融为一体。
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