作者：刘笃仁,徐毓龙 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2000年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2000030020 DOC编号：DOCIKJS2000030029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 硅和硅基微机电系统技术是微机电系统技术的主流 ，本文主要介绍用这种技术制造的各种微结构气敏传感器。

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