作者：刘月明,刘君华,张少君 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2000年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2000020000 DOC编号：DOCYBJS2000020009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于硅微机械传感器的技术特点 ，分析了这类传感器的发展趋势 ，同时指出了它进一步发展中急需解决的几个问题

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