《微机械元件和仪器的新进展》PDF+DOC
作者:邵培革,王立鼎
单位:机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
出版:《仪器仪表标准化与计量》2000年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQBJ2000050050
DOC编号:DOCYQBJ2000050059
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微机械元件和微机械仪器,适于大批量生产,具有成本低廉、性能优良和体积微小及集成度高的特点。近十年来,在研制、开发及市场扩大方面取得了巨大的进展,展现了美好的前景。
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