《基于MEMS技术的微型磁性开关阵列》PDF+DOC
作者:李德胜,张世平,黄操军,藤田博之
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2000年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2000050040
DOC编号:DOCYBJS2000050049
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《基于MEMS技术的微型磁性开关阵列》PDF+DOC2000年第05期 李德胜,张鹏飞,藤田博之
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为了在二维微驱动系统中实时检出移动块的存在位置 ,试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列 ,它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。本文对该传感器的工作原理、制作工艺做了详细的描述 ,并给出了一些实验结果
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