作者：董欣,吴畯苗,邹德恕,史衍丽,邓军,杜金玉,高国,沈光地 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001030160 DOC编号：DOCCGQJ2001030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在微传感器和微机械结构的静电键合实验中 ，当加电压到键合片对上时 ，外电路的电流迅速上升到一定值后 ，不是逐渐减小 ，而是较缓慢的继续上升 ，或在某一值停留一段时间再逐渐减小到最小值。通过对实验现象的分析 ，认为键合的电流 -时间特性主要是下述两个过程的综合反映 ，键合过程中接触电阻的减小引起的电流增大和空间电荷区形成引起的电流减小 ，正是由于这两个主要因素导致了上述现象的存在

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