作者:黄焱球,刘梅冬,曾亦可,刘少波 单位:中国科学院上海硅酸盐研究所 出版:《无机材料学报》2001年第03期 页数:7页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWGCL2001030010 DOC编号:DOCWGCL2001030019 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • ZnO薄膜是一种具有优良的压电、光电、气敏、压敏等性质的材料,在透明导体、发光元件、太阳能电池窗口材料、光波导器、单色场发射显示器材料、高频压电转换器、表面声波元件、微传感器以及低压压敏电阻器等方面具有广泛的用途.ZnO 薄膜的制备方法多样,各具优缺点;而薄膜性质的差异则取决于不同的掺杂组分,并与制备工艺紧密相关.本文综述了ZnO薄膜的制备及性质特征,并对其发展趋势及前景进行了探讨.

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