《高g_n值悬臂梁式硅微加速度传感器的结构设计》PDF+DOC
作者:席占稳,赖百坛
单位:东南大学
出版:《东南大学学报(自然科学版)》2000年第06期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDNDX2000060080
DOC编号:DOCDNDX2000060089
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针对高冲击加速度测量 ,分别就硅微加速度传感器等截面和变截面悬臂梁在不同结构尺寸下的应力状况及固有频率进行了有限元数值模拟 ;对等截面和变截面悬臂梁结构的灵敏度进行了分析比较和数值计算 ,结果都说明了采用变截面悬臂梁结构 ,灵敏度可提高近 30 % ;对选择的变截面悬臂梁结构的加速度传感器其量程为 1 0 0 0 0gn,有足够的抗过载能力 ,且横向灵敏度足够小 。
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