作者：孙以材,高振斌,孙冰 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2000年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2000080020 DOC编号：DOCCGSJ2000080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文介绍一种新型压力传感器，它有别于压阻型和电容型压力传感器，利用固定玻璃板和对压力敏感的硅弹性膜之间的Fabry-Perot腔所产生的光线干涉原理制成。这种传感器可避免封装应力及热漂移对信号的影响，因而可在500～1000℃的高温下使用。

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