作者：陈德英,茅盘松,史建伟,熊涛,迟姗,张旭 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》2000年第04期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ2000040010 DOC编号：DOCGTDZ2000040019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ，提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ，给出了工作原理和设计模型 ，最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。

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