作者：李宝清,陆德仁,王渭源 单位：中国工程院;高等教育出版社 出版：《中国工程科学》2000年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGCKX2000020070 DOC编号：DOCGCKX2000020079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 文章首次报道了一种基于面积可变电容结构的微机械加速度传感器。质量块呈栅状结构，由悬臂梁支撑。两组交叉放置的定电极位于质量块的正下方。在惯性力的作用下，质量块呈平行于衬底水平移动，引起由质量块的栅与定电极的叉指构成的差分电容变化。通过测量差分电容的变化，可以得到加速度信号的大小。理论分析表明加速度响应信号随面积呈线性变化，而与质量块及定电极的间距无关。加速度传感器的制作采用了基于金属电镀的准LIGA技术，设计量程为20m/s2。测量结果表明，加速度传感器量程为20m/s2，灵敏度为581mV/(m&#183；s-2)，非线性为4%FS。讨论了器件线性度不够理想的原因。

    📙 相关资料

    1. 《利用阵列传感系统降低硅微机械加速度传感器的横向灵敏度》PDF+DOC 为消除带质量块的压阻式硅微加速度传感器的横向灵敏度，曾采取许多办法，但收效甚微，为此本文提出利用传感器阵列降低硅微加速度传感器的横向灵敏度的方法.以...
    2. 《微机械电容式加速度传感器信号电路设计》PDF+DOC 介绍了一种可用于差动电容敏感的加速度传感器的信号检测电路，给出了在电路中所用的电子元器件，同时进行分析，得到电路的输出电压和传感器信号电容变化量之间的关系。实验结果表明，该电路的线性高，测量差分电容变化的灵敏度好，是一种具有实用价值的微差分电容测量接口电路。...
    3. 《电容式加速度传感器设计及工艺加工》PDF+DOC 针对精确制导的应用需求，设计了一种量程为100g“三明治”电容式加速度传感器，通过ANSYS仿真软件在100g及10 000g高过载条件下进行应力分析和模态分析，并通过Matlab分析、优化结构参数从而确定传感器敏感结构的具体尺寸。利用阻抗分析仪分析得到了传感器的静态电容为14.09 pF，结构输出......
    4. 《新型双轴电容式微加速度传感器优化设计研究》PDF+DOC 将ＩＣ工艺与ＬＩＧＡ工艺结合，在硅基上用镍材料制作高精度电容式双轴微加速度传感器。根据力学原理并结合所采用的工艺特点，对该器件结构进行优化设计，获得了较好的器件性能参数。结果表明，器件的静态电容为２．６ｐＦ，量程达&#177；５ｇ。该加速度传感器可同时测量Ｘ，Ｙ方向的加速度，最小可测量加速度......
    5. 《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC 对带质量块的悬臂梁加速度传感器的特殊工艺：硅梁及形状控制的各向异性腐蚀，梁厚的精确控制、双面光刻、有孔硅片匀胶等技术进行了研究，为批量生产克服了工艺障碍。...
    6. 《曲面过载保护的新型高g值冲击硅微机械加速度传感器的设计》PDF+DOC 给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ，此传感器为整体式悬臂梁结构 ，采用硅微机械加工技术制作 ，便于封装和大批量低成本制造。其敏感方向在硅片平面内 ，两个压敏电阻分布在悬臂梁的顶端 ，两个完全相同的悬臂梁沿相反方向分布 ，四个压敏电阻构成惠斯通全桥连接 ；悬臂梁的过......
    7. 《一种新型电容式加速度传感器敏感电极的研究》PDF+DOC 针对现有加速度传感器在测试时相对于高冲击后可能导致丧失高灵敏度的性能，提出了一种新型电容式加速度传感器.该传感器利用水银作为液体敏感电极代替传统的固体敏感电极，结构简单.实验证明：该传感器性能良好，线性度为6.52%，灵敏度为0.501 p f/g，重复性为1.45%，可广泛应用于抗高过载低量程方面......
    8. 《基于有限单元法三轴体微加速度传感器固有频率的灵敏度分析》PDF+DOC 应用大型有限元分析软件ANSYS10.0建立了三轴体微机械电容式加速度传感器的有限元模型，以该模型为基础分析了传感器的前3阶固有频率及其振型。分析表明第一、二阶振型分别影响传感器在X和Y方向上的加速度测量，而第三阶振型则影响传感器在Z方向上的加速度测量，且影响程度较大。分析了传感器挠性轴的宽度、高度......
    9. 《叉指电容式汽车安全气囊硅微加速度传感器的设计和分析》PDF+DOC 本文对一种基于MEMS技术的2-D梳状插指电容加速度传感器的设计方案进行了分析、研究和仿真。该加速度传感器使用同一衬底上整合的独立的相互垂直的梳状插指电容结构，实现平面上的加速度监测，灵敏度和分辨率满足汽车安全气囊用要求。...
    10. 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试&#177；1gn范围内线性度可以达到99.99%。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。