作者：周兆英,冯焱颖 单位：中国电子信息产业发展院 出版：《世界电子元器件》2001年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSDYQ2001090120 DOC编号：DOCSDYQ2001090129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC2004年第03期 鄢云 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC2001年第06期 李国平,陈子辰 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC2001年第04期 孙克豪,钱劲,张立宪,余同希,赵亚溥 《微型机电系统》PDF+DOC2000年第Z1期 周兆英,王晓浩,叶雄英,王伯雄,李莎,刘卫丹 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2003年第01期 朱健 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《大有作为的硅微传感器》PDF+DOC1996年第06期 马天方 《微传感器步入生物医学领域》PDF+DOC1996年第06期 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC2003年第01期 黄树森,李昕欣,王跃林,鲍敏杭 《芯片级集成微系统发展现状研究》PDF+DOC2010年第01期 李晨,张鹏,李松法

    • 微系统(Micro Systems)和纳系统(Nano Systems)是微米纳米技术最终开发目标之一，是21世纪技术发展的热点。作为IC的扩展和大规模微结构器件在小空间中的高度集成，我们的读者在陌生中可能会感到一丝熟悉。

    📙 相关资料

    1. 《论微电子机械系统MEMS》PDF+DOC 简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ，并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ，执行器等作了介绍与分析 ，提出了微系统之间要研究的问题 ；探讨了微电子机械系统的发展应用前景...
    2. 《微机电系统的研究内容与发展现状》PDF+DOC 概述了微机电系统 ( MEMS)的定义和特征 ，从理论基础、技术基础和工程应用三方面 ，阐述了微机电系统的研究内容 ，简要介绍了 MEMS基础技术及 MEMS器件的研究现状...
    3. 《MEMS器件的计算机辅助设计与模拟》PDF+DOC 概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计和模拟过程 ，分析了MEMSCAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题 ，讨论了目前经常采用的各种模拟系统的模拟形式和应用范围。并结合静电微马达与微米 纳米镊子实例 ，分析了模块化的CAD软件结构形式以及所用MEMS材料的数据库建立和应用连接 ，所提出......
    4. 《微型机电系统》PDF+DOC 分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场。预计到 2 0 0 3年微小系统的市场约为 40 0亿美元 ，是商用航空业的一半。简介了我国的研究情况。国际上微型机电系统技术刚走向全面发展 ，正是我国发展该领域的好时机...
    5. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC 主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。...
    6. 《MEMS的研究与应用》PDF+DOC 本文介绍了 MEMS 的基本概念、基本特征和理论基础，并结合 MEMS 的发展史和制造技术，对MEMS 的应用领域作了重点阐述，最后对 MEMS 的发展前景和产业化的挑战作了分析。...
    7. 《大有作为的硅微传感器》PDF+DOC 大有作为的硅微传感器微（机械）加工技术的问世。把传感器推向一个新的发展阶段，传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的硅集成智能器件。可以认为，硅传感器将取代机械传感器．而且将开辟目前用机械传感器不可能开辟的崭新市场。同机械传感器相..。...
    8. 《微传感器步入生物医学领域》PDF+DOC 微传感器步入生物医学领域ＭＥＭＳ器件功耗小、重量轻、成本低、适宜用于研制化学分析仪、微仪器及微系统ＣｈｅｒｙｌＡｊｌｕｎｉ瘫痪病人得以重新控制自己的肢体，或者烧伤病人在医院康复时，不再因触动其烧伤的皮肤而感到难以忍受的疼痛，都已经成为现实，这应当归功..。...
    9. 《MEMS传感器性能提高相关技术研究》PDF+DOC 在分析MEMS(微电子机械系统 )传感器当前的发展现状、特点特别是在器件实用化和产品化进程中所面临的挑战后 ，提出了MEMS传感器技术实用化的关键———提高器件性能满足应用要求。根据研究经历举例说明改进传感器材料、结构、制作工艺和器件工作原理等具体措施对提高器件性能的作用...
    10. 《芯片级集成微系统发展现状研究》PDF+DOC 概要介绍了芯片级集成微系统的内涵和近期发展态势，分析了它的技术特点，对相关的新技术、新结构和新器件的技术问题作了初步的分析与探讨，为发展新一代微小型电子武器系统提供一部分技术信息。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。