作者：日经 单位：中国航天系统科学与工程研究院 出版：《军民两用技术与产品》2016年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHTJM2016010850 DOC编号：DOCHTJM2016010859 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 日本信号株式会社推出了基于微机电系统(MEMS)技术的超小型六轴力觉传感器。其采用该公司研发的电磁驱动式MEMS光扫描仪“ECO SCAN”的技术经验，主要用于机器人和计量测量仪器领域。该六轴力觉传感器利用半导体的压电电阻效应来检测应力。其直径为10.6mm、厚14.5mm。其沿X、Y、Z轴方向的额定载荷各为&#177；30N，沿各轴旋转方向的额定载荷为&#177；30Ncm，重复精度优于3%，其轴向检测灵敏度为0.1mV/N~0.2mV/N，X、Y轴旋转方向的

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