作者：张文栋,董海峰,石云波 单位：中北大学 出版：《中北大学学报(自然科学版)》2001年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHBGG2001040020 DOC编号：DOCHBGG2001040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 目的　对微机电系统 ( MEMS)和微型惯性测量系统的国内外现状、国家政策进行介绍 ，讨论微型惯性测量系统 ( MIMS)应用技术 .方法　结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对策 ，在应用技术方面 ，采用系统优化、设计专用集成电路并采用抗高过载方法 .结果与结论　模块化集成方法能够满足部分需求 ，已在我国一些重大型号上获得应用 .微型惯性测量系统是今后需要重点研究的微机电系统之一 。

    📙 相关资料

    1. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    2. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC 主要介绍了MEMS技术的背景、分类、应用、发展趋势。...
    3. 《单片集成的压阻式加速度计设计及加工》PDF+DOC 针对现实环境下加速度方向多维测试的需求，提出了一种“四边八梁”的MEMS低加速度g(g=9.8m/s2)值压阻式三轴加速度传感器。根据其工作原理进行结构设计，并通过ANSYS与Matlab软件分析、优化结构参数。设计工艺流程并进行离子注入、ICP干法刻蚀及深硅刻蚀等关键工艺加工，最终实现传感器器件加......
    4. 《MEMS加速度计的振动校正》PDF+DOC 高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本解决方案。具体例子包括：导航和AHRS系统，用于机器健康状况检测的振动监控，基础设施的结构健康状况监控，以及用于平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在大多数此类例子中，加速度......
    5. 《强干扰惯性稳定平台的关键技术研究》PDF+DOC 受到各类新兴技术不断涌现的影响，光电跟踪系统开始尝试利用运动平台。其中的载体运动导致光电跟踪系统的视轴出现抖动情况，所以，应运用惯性稳定平台予以有效抑制，发挥出其扰动抑制的作用。本文通过阐述强干扰惯性平台的构成情况，说明了惯性传感器技术的应用。此研究以分析强干扰惯性稳定平台的关键技术为目的，从而有效......
    6. 《智能微尘》PDF+DOC 随着传感器(Sensor)、计算机、无线通信、集成电路、微机电系统(MEMS，Micro-Electron-Mechanical Systems)以及纳米等技术和生产工艺的飞速发展和日益成熟，低成本、低功耗、多功能的集成微型传感器的大量生产成为可能。这些微型集成传感器在微小的体积内集成了传感器、微处......
    7. 《一个日益发展的世界市场》PDF+DOC 德国Frankfurt的Battelle Memo-rial Institute最近发表的一篇研究报告说，全世界的MEMS市场将从1990年的约7亿美元增长到2000年的120亿美元.这肯定了MEMS是一个迅速发展的市场.该研究报告证实MEMS的研究、开发和生产非常活跃；据报告说，全世界现有300多......
    8. 《冲电气的首块MEMS芯片亮相》PDF+DOC 日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1.4 mm厚的MEMS传感器与控制IC集成，形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(&#177；3 g)外，还可测量倾角和冲撞力，并能测量倾斜度和振动度，其信号输出为数字式。...
    9. 《飞思卡尔推出可提高汽车安全性的高级安全气囊传感器》PDF+DOC 新的加速度计可以精确地检测和部署安全气囊，帮助保护人身安全并防止受伤2011年11月2日，加利福尼亚州蒙特利(微机电系统管理者会议)——飞思卡尔半导体公司(NYSE：FSL)宣布推出一个汽车加速度传感器产品系列，其设计旨在促进高级安全气囊系统的开发，以便在发生汽车碰撞时保护人身安全并避免受伤。飞思卡......
    10. 《产品汇总》PDF+DOC 3轴高g MEMS加速度计ADXL375是3轴、200g数字MEMS(微机电系统)加速度计。ADXL375MEMS加速度计能够在&#177；200g满量程范围内连续测量撞击或冲击的持续时间和幅度，而不出现饱和。在高达1600Hz的全带宽条件下，这款新型传感器功耗为140μA左右，适用于低功耗......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。