作者：李茗 单位：中国国际贸易促进委员会 出版：《世界产品与技术》2001年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSJCS2001020030 DOC编号：DOCSJCS2001020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《声波作用下MEMS加速度计失效机制研究》PDF+DOC2020年第04期 郭芃,王佳宇,冯立辉,卢晨燕 《倾角测量中微机电系统加速度计的Kalman滤波》PDF+DOC2017年第12期 黄吉传,周德云,何鹏,张堃 《用单片加速度传感器IC制作加速度测试仪》PDF+DOC1995年第09期 从余 《带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器》PDF+DOC2005年第03期 程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,杨恒,戈肖鸿,宋朝晖 《新型侧壁绝缘体硅微机械工艺》PDF+DOC2005年第01期 程保罗,李昕欣,王跃林,焦继伟,车录锋,张鲲,戈肖鸿,宋朝晖 《基于MEMS加速度计和陀螺仪的姿态检测系统》PDF+DOC2012年第03期 赵翔,杜普选,李虎,杨浩淼 《基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器》PDF+DOC2014年第03期 钟少龙,龙亮,李明,吴亚明 《基于CC2541和LIS3DSH的计步器设计》PDF+DOC2014年第06期 陈银溢 《基于MEMS加速度计的单轴数字倾角传感器》PDF+DOC2013年第05期 刘梅,王冬蕊 《多晶硅纳米膜压阻超薄微梁加速度敏感结构》PDF+DOC2013年第01期 揣荣岩,白羽,吴美乐,代全,靳晓诗

    • 微机电系统(MEMS)在1950年代随半导体的发展而兴起，但商品化的过程比集成电路慢一些，因为要使价格降低至可与传统的产品相比需要花费相当时间，提高可靠性也是至关重要的质量控制内容。从统计资料表1给出的主要MEMS商品化时间表可知，压力传感器、加速度传感器和喷管是完全商品化并且占领一定市场的产品，相当大部分MEMS产品还处于降低成本和扩展应用范围的阶段。由于汽车业的需要，MEMS

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