作者：沈桂芬,吴春瑜,姚朋军,杨学昌,刘兴辉,吕品,高嵩 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2001年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2001020110 DOC编号：DOCCGJS2001020119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文详细分析了用各向异性腐蚀技术形成的压阻式压力传感器硅杯的几种腐蚀方法 ，根据实验提出了它们的优缺点 ，介绍了几种各向异性蚀的自致停止法和腐蚀中削角的补偿方法 ，对制造微量程、高灵敏度的压力传感器有一定的指导意义 。

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