作者： 单位：信息产业部电子科学技术情报研究所 出版：《电子科技文摘》2001年第11期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDKWZ2001110340 DOC编号：DOCDKWZ2001110349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 0118418PTFE 快速定位系统研究[刊]/余国彬//电子工业专用设备.—2001，30(2).—14～16(D)介绍了采用压力-真空平衡气足作支承、PTFE 材料作导轨的工件台的组成，并对气足的设计计算进行了讨论。最后给出了所研究的工件台的检测结果。参40118419基于 MEMS 技术的 PCR 生物芯片的研究[刊]/赵湛//传感器技术.—2001，20(6).—56～59(D)

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