作者：田文彬 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2001年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2001020020 DOC编号：DOCBDTQ2001020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 对目前到 2 0 0 5年的微机电系统的技术和市场发展做了初步的预测 ，详细讨论了可能的市场领域及其对微机械技术发展的要求。认为 2 0 0 5年后 ，国产微机械产品将具备相当的市场规模

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