作者：颜永红,曾云,曾健平,尹霞,张红南,陈宗璋 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》2001年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS2001010080 DOC编号：DOCWXJS2001010089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 用射频等离子体化学沉积方法制备氢化非晶碳 (a C∶H)膜。在等离子体气氛中引入胺基团 ，则能够在a C∶H薄膜沉积过程中将胺基团掺入薄膜的网络结构中。喇曼光谱表明薄膜具有无序态结构。红外分析表明薄膜中有胺基团存在 ，将掺胺的a C∶H薄膜作为质量传感膜沉积到石英晶体表面制成气相质量传感器。测试表明掺胺a C∶H膜对甲酸蒸气具有高的响应灵敏度 ，好的线性相关系数和宽的线性响应范围

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