作者：娄彦龙,王丁,王朋朋,郑学军 单位：中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版：《电子元件与材料》2015年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZAL2015120040 DOC编号：DOCDZAL2015120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以商业氮化镓(GaN)粉末为原料，经简单超声辅助的方法成功制备出氧化镓(Ga_2O_3)纳米棒。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)和透射电子显微镜(TEM)等对其结构、形貌及成分进行表征分析。结果表明材料为纳米棒状多孔结构，直径和长度范围分別在100 nm和2μm左右，并且Na~+和K~+被成功地掺杂。湿敏材料旋涂在预先涂覆有Ag-Pd叉指电极的Al_2O_3陶瓷基片上制作成湿敏测试元件。对其湿敏性能进行测试，結果表明：Ga_2O_3纳米棒传感器的阻抗随着湿度的变化曲线表现出良好的线性响应和稳定性，在100 Hz频率下，当环境中的相对湿度(RH)从11%到95%变化时，该湿度传感器阻抗变化超过四个数量级，响应和恢复时间分別为1 s和6 s，其最大湿滞为3%RH。优异的湿敏特性可能源于一维Ga_2O_3纳米结构和离子掺杂的协同效应。

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