《正在起飞的MEMS技术》PDF+DOC

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2. 《微机电系统与微细加工技术》PDF+DOC 微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS(Micro Electro-Mechanical System，微机电系统)或MOEMS(微光机电系统，美国)、Micro-Machine(微机械，日本)、Micr......
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4. 《声表面波气体传感器》PDF+DOC 在化学研究领域，声表面波器件得到了越来越多的注目.声表面波延迟线振荡器的振荡频率对沉积在其表面的薄膜层非常敏感，选择适当的气体吸附材料涂覆在器件的表面，声表面波延迟线振荡器就可用于制成十分敏感的气体传感器。当涂覆层性能优良时，传感器可检测出浓度为0.01—0.1ppm水平的特定气体成份。...
5. 《酞菁铜薄膜传感器的气敏特性》PDF+DOC 利用酞菁铜有机半导体作为敏感材料制备成NO_2气体传感器，研究了其气敏特性，如器件的一致性、重复性、线性等，结果表明传感器具有实用价值。...
6. 《微机电系统的发展与应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)是当前一个发展极为迅速并涉及多个学科的领域。本文主要介绍了微机电系统的产生与发展过程，讨论了它所采用的材料和加工技术、该技术涉及的各个学科，着重阐述了器件的具体分类、结构组成、各类器件的具体特点及其在工程技术中的实际应用，并指出其发展趋势及对诸多领域的深远影响。...
7. 《酞菁铜薄膜晶体管气体传感器制备及特性研究》PDF+DOC 以n型高掺杂硅为衬底，二氧化硅(SiO2)作绝缘层，钛/金(Ti/Au)双层膜为源漏电极层，真空蒸发酞菁铜(CuPc)作敏感层，制备了沟道宽长比为4000/25的有机薄膜晶体管气体传感器(OTFTs)，研究了CuPc-OTFT气体传感器的基本电学特性及其在常温下对有毒还原型气体(H2S和NH3)的敏......
8. 《X-FAB发布业界首个3D MEMS平台》PDF+DOC X-FAB，这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂，近日又再次发表业界首个为微机电系统(MEMS)三轴惯性传感器(3Dinertialsensor)提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作......
9. 《一种便携SAW气体传感器的电路设计》PDF+DOC 该文采用信号处理技术，设计了一种振荡电路。该电路解决了双延迟线型声表面波(SAW)器件不易起振，频率跳变等问题。整个电路结构简单，对插损低于20 dB的器件有很好的起振效果，满足气体检测的需要。...
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