作者：王长河 单位：中国电子元件行业协会;中国电子学会元件分会 出版：《电子元器件应用》2001年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQJY2001100010 DOC编号：DOCYQJY2001100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文论述了MEMS的研究进展、设计思想、主要加工技术及应用前景

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