《电容薄膜真空计》PDF+DOC
作者:
单位:北京信息科技大学
出版:《传感器世界》2001年第10期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGSJ2001100190
DOC编号:DOCCGSJ2001100199
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《电容式薄膜压力传感器》PDF+DOC1991年第04期 А.А.Казарян,杨宗信
《小量程MEMS电容式压力传感器的研究与发展》PDF+DOC 张瑞,梁庭,熊继军,刘雨涛,王心心,王涛龙
《电容薄膜规规管零漂的改善》PDF+DOC1987年第04期 李正海
《电容薄膜规零点和校准系数的稳定性》PDF+DOC1987年第02期 李正海,Richard W.
《电容式薄膜真空计的研制》PDF+DOC1982年第03期 刘家澍,朱耕建,陈宗宝,余民森
《CYBJ-971型溅射金属薄膜压力传感器及其在自容式下井系统中的应用》PDF+DOC2002年第01期 曾永红,易新建
,曾延安
《电容式测压器壳体电容可行性的验证》PDF+DOC2012年第09期 刘芮君,李新娥
《基于电容式应变计的膛压测试系统》PDF+DOC2011年第07期 刘芮君,李新娥,李园
《一种电容式角度传感器》PDF+DOC2009年第08期 高峰,谷雨,周滨,卢致续,李宁
《微传感器压力测量系统》PDF+DOC2007年第08期 杨世忠,邢丽娟
该真空计的传感器属于电容式传感器,其敏感元件是一片呈径向性辐射拉伸应力状态的金属薄膜,该薄膜将外压力测量腔与参考腔隔开,当外压力测量腔的压力与参考腔之间产生压差时,金属膜产生弯曲变形,改变了装在封闭参考
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。