作者：何友义 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2001年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2001120190 DOC编号：DOCCGQJ2001120199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了将LIGA技术及其与牺牲层技术相结合 ，制造可动微结构的工艺方法。并给出了可实现摆动、转动的可动微结构———微执行器、微传感器和三维加速度传感器的制造过程等应用实例

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