《高静电场下的薄膜测厚技术》PDF+DOC
作者:周余平,于惠忠
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2001年第08期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2001080160
DOC编号:DOCYBJS2001080169
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针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题 ,采用了一种比较巧妙的电路方法———线圈隔离法消除了静电的影响。该技术是一种实用的在线薄膜测量技术 ,也可以运用到其他电容式传感器非接触式的在线测量中。
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