作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2001年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2001010140 DOC编号：DOCCGSJ2001010149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 当今时代是一个硅的时代，从家用电脑的普及到互联网经济的崛起，无不源于硅的广泛应用。传感器技术也不例外，硅材料使传感器不再局限于电子机械技术，使各种技术都在传感器领域得到了一展身手的天地。 在快速发展的MEMS技术中、在一次性使用传感器的开发上，我们随时可以看到硅的影响力。目前，最新型的硅——多孔硅的出现，有望为传感器开拓出一个全新的领域，利用它可以制成仿真肢体和眼睛。

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