作者:汤兆胜,赵强,范正修,邵建达 单位:中国光学学会 出版:《光学学报》2001年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGXXB2001080130 DOC编号:DOCGXXB2001080139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 采用光度法以及椭圆偏振法测量技术对掺有贵金属或过渡金属元素的SnO2 薄膜以及在不同PO2 PAr比条件下制备的VOx 系列的薄膜进行了系统的光学气敏特性测试。比较了各种薄膜对SO2 气体的光学气敏特性 ,发现在一定条件下制备的SnO2 Pd、VOx 薄膜对SO2 气体在可见光区有很好的灵敏性 ,SnO2 Zr薄膜对SO2 气体在近红外区有很好的灵敏性。定性地用光学能隙的变化和自由载流子浓度的变化说明了薄膜在吸附气体后的光学性质的变化

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