作者：逯斐,谭秋林 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018060070 DOC编号：DOCCGJS2018060079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对恶劣环境表面温度测试需求，设计了一种基于微波后向散射原理的无线无源薄膜温度传感器。该传感器是金属贴片型的“三明治”结构，由HTCC氧化锆陶瓷和Ag金属层制备而成。采用耐高温微带天线进行测试，通过网络分析仪读取回波损耗和频率的关系，得出其谐振频率随温度升高而减小，是由氧化锆温度敏感介质的介电常数随温度升高而增大引起的，完成了感器在50℃~700℃的高温测试，平均灵敏度为96.63 kHz/℃，具有高Q值、外形小巧、结构简单的特点。

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