作者：谢康 单位：中国电子学会 出版：《电子技术与软件工程》2018年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZRU2018010640 DOC编号：DOCDZRU2018010649 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS器件体积小，造价低，是未来传感器的发展方向，随着MEMS技术进步，惯性MEMS传感器、中等角频率传感器分辨率高且低成本的惯性组件，用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率。MEMS器件中，封装技术极为重要性，坚固耐用的惯性MEMS器件，除集成技术外封装成为另一个核心，我们对封装技术进行探讨研究，旨在提高MEMS器件的可靠性。

    📙 相关资料

    1. 《美国微机电系统的最新研究成果及其应用(下)》PDF+DOC 在引信及环境传感系统中的应用在引信设计中，实现多功能和减小体积一直存在着尖锐的矛盾，而微机电系统技术的发展为缓解这种矛盾带来了机遇。美国武器研究发展工程中心正在开发和鉴定新颖的有高纵横比的微机电组件，它可以用来制造引信的保险装置，目前准备用于理想单兵战斗武器系统中的20毫米弹药上；还在开展保险装置的......
    2. 《纳米技术在生物医药方面的应用研究》PDF+DOC 在科技发展迅速的当代社会，信息技术、生物技术、能源的高速发展必然对材料提出新的需求，组件的智能化、小型化、高集成等对材料的要求越来越高，新材料的创新和研究显得尤为重要。该文主要介绍的是纳米技术的概念和纳米材料的简单介绍，并着重介绍了纳米技术在生物医药方面的应用成果。...
    3. 《航空发动机涡轮叶片原位集成高温MEMS传感器的研制》PDF+DOC 为了满足智能高性能航空发动机高温、高振动、高冲击的苛刻工作要求，采用MEMS(Micro-elect ro-mechanical-syst em，微机电系统)薄膜技术制作了发动机涡轮叶片原位集成高温温度传感器，并进行了高温下的温度试验和振动冲击试验。试验结果表明：热电阻传感器温度的线性良好，可以实现......
    4. 《基于Si基集成技术的智能传感器应用》PDF+DOC 随着传感器向小型化、集成化、智能化方向发展，以微机电系统(MEMS)和集成电路(IC)工艺技术为基础制备智能传感器，已成为传感器领域的研究热点。本文介绍了传感器发展的历程，详述了智能传感器中Si基集成技术的单片集成(异质生长和离子注入剥离)和混合集成技术两类三种实现方法，并结合国内外现状，介绍了其在......
    5. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    6. 《冲电气的首块MEMS芯片亮相》PDF+DOC 日本冲电气工业公司(Oki)声称制造出世界上最薄的超小型三轴加速度计组件。这只1.4 mm厚的MEMS传感器与控制IC集成，形成一个封装器件。该加速度计组件除能测量三轴(X、Y、Z)加速度(&#177；3 g)外，还可测量倾角和冲撞力，并能测量倾斜度和振动度，其信号输出为数字式。...
    7. 《产品撷英》PDF+DOC 由于技术先进或在性能/价格比方面有明显提高而被挑选出来的产品。...
    8. 《个人保健与峰值体能训练因技术进步而得以简化》PDF+DOC 现在，诸如MCU与AFE等高性能组件已用在多种医疗设备及小型峰值体能训练装置之中。在过去几十年里，医疗电子产品在个人疾病管理和诊断中发挥了重要的作用。从血糖血压监测到使用电子温度计进行发烧处理等，其应用实例不胜枚举。目前，多项旨在提高用户...
    9. 《市场迅速做大 竞争走向多元——2009年MEMS产业年度回顾》PDF+DOC 早在半个世纪之前即被开发出来的微机电系统(MEMS)，因为技术门坎过高，成功的商业化案例一直寥寥，直至数年前任天堂在其游戏机Wii中导入加速度传感器(g-sensor)大获成功，才正式开启了MEMS组件大举进军消费电子市场的征程。...
    10. 《产品撷英》PDF+DOC 本刊编辑所选的出类拔萃产品。入选产品或者取得了显著技术进步或者在性价比方面比较突出。用于便携式电视的超低功耗地面及卫星多频带硅调谐器支持五个全球性移动设备电视标准及五个重要频带...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。