《美国乔治亚理工大学研制出可将氮化镓气体传感器转移至多种衬底的新制造技术大幅降低制造成本满足多种应用》PDF+DOC
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单位:中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版:《》
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《功能材料与化学传感器》PDF+DOC1997年第06期 周志刚
《功能材料与化学传感器》PDF+DOC1998年第01期 周志刚
《制造业、生物加工》PDF+DOC1998年第S1期
《聚合物膜基信息传感材料》PDF+DOC2005年第02期 程根水,胡继文,章明秋,李明威
《高分子材料的现状与未来》PDF+DOC2001年第01期 本刊编辑部
《美研制出廉价石墨烯泡沫传感器》PDF+DOC 王晓俊
《高分子纳米复合气敏材料研究进展》PDF+DOC2012年第03期 熊小梅,刘敬成,刘晓亚
《聚苯胺—多壁碳纳米管薄膜SAW NO_2传感器》PDF+DOC2011年第09期 周文,闫学锋,侯成诚,李冬梅,刘明,陈军宁
《用于挥发性有机化合物探测的微悬臂梁传感器(英文)》PDF+DOC2010年第02期 董瑛,高伟,郑义,尤政
《新型成膜法的SAW气体传感器聚合物膜的粘弹性分析(英文)》PDF+DOC2006年第01期 王文,何世堂,潘勇
近日,美国乔治亚理工大学研制出新的制造技术,可将在蓝宝石衬底上生长的氮化镓(GaN)气体传感器转移到金属或柔性聚合物支撑材料上,大幅降低制造成本,满足从可穿戴设备到车辆引擎的多种应用。使用新工艺制造的传感器能够以十亿分之一的水平检测出氨气,以及区分多种含氮气体。技术核心在该工艺中,研究人员在约1300摄氏度的高温下,使用金属有机气相外延(MOVPE)在2英寸蓝宝石晶圆上生产出单层一氮化硼(BN)。然后在1100摄
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