作者：江源,常烨,高传海,刘伯华,张孟伦,段学欣 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第10期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018100010 DOC编号：DOCCGJS2018100019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 制造了一种基于薄膜压电体声波谐振器的柔性有机挥发性(VOCs)气体传感器。通过转移印刷的方法，柔性体声波谐振器的电极与压电层采用的无机材料薄膜被从硅衬底上转移到超薄的聚酰亚胺基底上。该柔性谐振器的品质因数达到了1920，且在2.5 mm的弯曲半径下仅有相对于基频十万分之一左右的频率偏移。谐振器表现出了对于环己烷与乙醇气体良好的频率响应特性，且通过在器件表面修饰聚异丁烯(PIB)薄膜作为气体吸附材料，使得器件对于环己烷的响应提升了10倍以上。该柔性VOC气体传感器具有尺寸小，质量轻，机械柔性好的优点，在可穿戴环境检测设备，健康监测设备，食品变质检测的电子标签等领域有着广泛的应用前景。

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