作者：叶剑飞,刘晓阳 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第10期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018100020 DOC编号：DOCCGQJ2018100029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 相较于传统的普通加速度计微机械加速度计具有许多的优势，在众多领域得到了广泛应用。微机械加速度计一般分为电容式、压电式、压阻式、谐振式、隧道电流式、光电式和热对流式，其中，热对流加速度计因其抗冲击强度能够达到自身材料的强度而广泛研究。详细阐述了国内外已有的热对流加速度计的结构原理、制造工艺和性能指标，从模拟仿真出发，给出了单轴延伸到三轴的研究现状。

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