作者：谢贵久,周国方,何峰,蓝镇立,王栋,龚杰洪,季惠明 单位：中国电子科技集团公司第四十七研究所 出版：《微处理机》2018年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWCLJ2018020040 DOC编号：DOCWCLJ2018020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《NCP5A5型高可靠性压力传感器的设计》PDF+DOC2015年第03期 张曙坚,夏状东,姚福龙,张林伟 《一种薄膜式的光纤压力传感技术》PDF+DOC2019年第06期 王昭,吴祖堂,温广瑞,杨军,陈立强,史国凯 《一种新颖的光纤微弯压力传感器》PDF+DOC2000年第05期 马乃兵,骆飞,张德银 《带管腔应变式压力传感器多自由度建模法》PDF+DOC1999年第11期 常增坡,唐柏森 《平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC1996年第03期 刘昆,王洪业 《边界元法用于压力传感器设计优化》PDF+DOC1988年第04期 周斌,何野,魏同立 《北京华控推出HART专用芯片HK-H100A厚模IC》PDF+DOC2005年第10期 《光纤压力传感器探头的设计》PDF+DOC2002年第05期 张奕林,俞建荣,廖延彪,赖淑蓉 《负压检测传感器研制》PDF+DOC2010年第05期 张莹,杨梅,于炜,陶瑛 《基于微溶技术的高温压力传感器》PDF+DOC2014年第04期 杨岩,肖忠祥,张铭存,马喜昌

    • 介绍了溅射薄膜压力传感器的技术要求、工作原理、结构设计、版图设计以及试验结果，并对研究过程中的关键技术及解决方法进行了探讨。传感器是依据溅射薄膜应变原理，选用圆平膜片感压膜片、17-4PH不锈钢作为弹性材料，采用机械研磨抛光技术制备压力传感器弹性体基底，利用直流离子束反应溅射及刻蚀技术制备了氮化钽薄膜压力传感器芯片。最后通过激光焊接、金丝球焊接等工艺封装芯片并对传感器的静态性能进行了标定。传感器具有非线性好、灵敏度高等特性。本文探讨了氮化钽薄膜压力传感器的制备方法，研究了不同热处理工艺下传感器性能的变化。

    📙 相关资料

    1. 《NCP5A5型高可靠性压力传感器的设计》PDF+DOC 为解决与某型号机车配套的空压机压力传感器故障率较高的问题，提出了一种新型压力传感器设计思路，采用全密封二次激光焊接及新技术、新工艺，从基本结构、硬件电路等方面大幅度地提高压力传感器的可靠性。实际装车运用考核表明，该新型压力传感器满足使用要求，效果良好。...
    2. 《一种薄膜式的光纤压力传感技术》PDF+DOC 提出了一种薄膜式的光纤压力传感技术，用于测量冲击波的反射超压峰值。该技术通过建立待测压力与薄膜加速度之间的正比例关系来获取压力。结合Fabry-Perot腔光学干涉测量技术，设计并加工实现了一种光纤压力传感器。开展数值模拟和激波管实验，结果证明，该压力获取技术可行，且该技术具有无须标定、制作简单、成......
    3. 《一种新颖的光纤微弯压力传感器》PDF+DOC 利用微弯探头和具有硬中心的小位移平膜片设计而成的光纤微弯压力传感器 ，可用于测量气体或液体的压力。本文阐述了传感器的结构及其传感机理。该光纤微弯压力传感器能够组成分布式光纤测试系统 ，具有机械调零、过载保护功能。...
    4. 《带管腔应变式压力传感器多自由度建模法》PDF+DOC 采用“共振峰提取”的方法对带管腔结构的平膜片应变式压力传感器建立了动态数学模型。利用传感器的时域校准数据得到了传感器的参数模型，进而求得了传感器的频率特性。实验结果和仿真计算表明，“共振峰提取”法在传感器动态模型建立方面有一定的工程应用价值。...
    5. 《平膜片式薄膜压力传感器的线性度与灵敏度分析》PDF+DOC 针对薄膜应变片在圆平膜片上的两种基本布置方式，导出了平膜片式薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实用计算公式，分析了膜片的厚径比、薄膜应变片在膜片上的布置方式和位置对传感器的线性度与灵敏度的影响.给出了部分研制的薄膜压力传感器的线性度和灵敏度的实测结果与理论计算结果的比较。...
    6. 《边界元法用于压力传感器设计优化》PDF+DOC 精确计算和模拟压力膜片上位移和应力分布是为设计高性能压力传感器的重要环节。实际压力传感器具有异性腐蚀形成硅杯的三维结构，存在不同介质层的热应力与弹性体本身的各向异性问题等。过去计算应力分布的数值方法通常采用有限差分法和有限元法，80年代发展起来的边界元法(BEM)有其独特的优点，此法使求解问题的维数......
    7. 《北京华控推出HART专用芯片HK-H100A厚模IC》PDF+DOC 北京华控技术有限责任公司集多年开发HART技术的精华，在9月14日上海多国仪器仪表展览会上隆重推出华控HART专用芯片。集成华控HART专用芯片的HK-H100A厚模IC适用于各种主要压力传感器，包括3051/1151传感器、陶瓷电容、陶瓷压阻、扩散硅、蓝宝石、溅射薄膜、单晶硅等。其外形小巧，性能优......
    8. 《光纤压力传感器探头的设计》PDF+DOC 介绍了一种光纤压力传感器探头的设计和计算。利用平膜片实现压力与位移的转换 ，其位移由光纤传感器检测出来。探头中两光纤呈 θ角度放置 ，能使系统的灵敏度达到 41.6 m V/ MPa。传感器探头的最大承压为 3MPa。...
    9. 《负压检测传感器研制》PDF+DOC 本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的，0～-50ka硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺。此系统通过形成的负压环境，加快创伤愈合。测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度，性能稳定可靠，便于携带，并可利用微机械加工技术实现低成本批量生产。...
    10. 《基于微溶技术的高温压力传感器》PDF+DOC 本文主要以综述的方式简单的介绍了一种用微溶玻璃技术制作新一代压力传感器的原理、结构以及补偿电路，最后总结了微溶压力传感器的特点及优越性，可剔除了用传统工艺方法生产传感器带来的弊端，理论上可以完全替代陶瓷、应变片、溅射薄膜及充油芯体等技术。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。