作者：李瑞君,许鹏,唐帅涛,范光照,程真英 单位：中国计量测试学会 出版：《计量学报》2018年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJLXB2018050020 DOC编号：DOCJLXB2018050029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 对高精度探头的研究和发展进行了叙述，介绍了所研制的一款由一个二维角度传感器、一个弹性机构和一个自制的微球形钨探针组成的微孔测量探头。对探头的刚度和重复性分别进行了仿真验证和实验测试，结果表明：该探头在三维方向上的刚度均小于0.4 m N/μm，重复性均优于20 nm(k=2)。最后利用该探头对一个直径为420μm的微孔进行了实际测量，测量结果验证了该探头的实用性。

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