作者：王慧锋 单位：中国内燃机工业协会;石家庄金刚内燃机零部件集团有限公司 出版：《内燃机与配件》2018年第10期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNRPJ2018101220 DOC编号：DOCNRPJ2018101229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着科学技术的发展和工业需求的不断提高，人类的制造方式已经发生了巨大的改变，突出的特点就是制造精度不断提高，已经由微米级向纳米级进行转变。超精密加工技术在各个高科技领域发挥了重要的作用，同时在未来相当长时间内制约着最前沿科技的发展水平，而其中的基础就是高精度运动定位系统，高精度和高分辨率的运动定位系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有及其重要的地位。鉴于超精密运动定位系统的重要地位和广阔的发展前景，系统总结目前超精密运动定位系统的结构组成和发展趋势变得尤为重要。

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