作者：王欣,赵文杰,张福君,王暄,施云波 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2018年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2018060100 DOC编号：DOCCGJS2018060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对传统硅基微热板半导体气体传感器存在的热稳定性差，工艺复杂等难点，采用良好热导特性的AlN陶瓷为衬底，利用柔性机械剥离工艺和半导体材料In-2O_3/Nb_2O_5/Pt厚膜工艺制备了NO_2微热板气体传感器。传感器中间加热区周围采用热隔离结构设计，降低了加热区温度分布梯度，提高了温度效率。利用ANSYS有限元工具进行了热结构仿真分析和响应测试分析，验证了热隔离结构设计的合理性。气敏测试分析表明，传感器在不同加热功率条件下，对5&#215；10~(-6)~100&#215；10~(-6)的NO_2气体都具有良好的气敏响应特性，经对比分析，在功率150 mW~200 mW时稳定性最佳，且响应速率小于60 s，恢复时间在100 s左右，可实现5&#215；10~(-6)~100&#215；10~(-6)浓度的NO_2气体良好检测功能。

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