作者：吴佐飞,尹延昭,田雷,王永刚 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2018年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2018060210 DOC编号：DOCCGQJ2018060219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于压阻效应和惠斯通电桥原理，设计了一种压阻式微压传感器；为了增大灵敏度，设计了一种折弯形的压敏电阻。从微压芯片敏感薄膜的设计、敏感电阻条的确定以及敏感电阻器位置的选取等方面考虑，设计了具有应力匀散效应的梁-膜结构并进行了工艺验证。验证结果表明：所设计的微压芯片灵敏度达到了24 mV/kPa，非线性优于0.2%FS。

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